国家知识产权局信息显示，SPTS科技有限公司申请一项名为“对工件进行等离子体处理的方法”的专利，公开号CN122396228A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，根据本发明，提供一种对易发生电弧放电的工件进行等离子体处理的方法，其包括步骤：提供工件，其具有包括至少一个绝缘层的上部分及与所述上部分相对的下表面；将导电层涂覆到所述下表面；将所述工件放置在等离子体处理设备的工件支架上，使所述工件的所述下表面距所述工件支架最近；在所述等离子体处理设备中对所述工件进行等离子体处理，其中所述等离子体处理包括将具有相关联RF功率的RF电信号施加到所述工件支架；及从所述经等离子体处理的工件移除所述导电层。

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作者：情报员