国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“喷淋板、处理设备和喷淋板孔型调整方法”的专利，公开号CN122382537A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本申请提供了喷淋板、处理设备和喷淋板孔型调整方法，该喷淋板包括第一分区、第二分区、第一气孔和第二气孔。第二分区包围在第一分区外；第一气孔设置于第一分区，第一气孔包括沿喷淋板厚度方向依次连通设置的台阶孔和第一喇叭孔；第二气孔设置于第二分区，第二气孔包括沿喷淋板厚度方向依次连通设置的直孔和第二喇叭孔，直孔的直径大于等于台阶孔的最大直径。本申请通过在喷淋板的第一分区和第二分区设置不同孔型的第一气孔和第二气孔，其中，第二气孔中的直孔直径大于等于第一气孔中台阶孔的最大直径，可以提高晶圆的中部区域和边部区域的孔隙填充的一致性。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息89条，专利信息698条，此外企业还拥有行政许可69个。

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作者：情报员