7月15日，阿斯麦（ASML.US）计划在2026年约65台低数值孔径（Low-NA）EUV光刻机产能基础上，2027年增加30%产能；公司正在研究2028年再增加30%产能的可行性。
阿斯麦加码低数值孔径EUV产能扩产三成
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