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阿斯麦计划2027年将低数值孔径EUV光刻机产能增加30%。

7月15日,阿斯麦(ASML.US)计划在2026年约65台低数值孔径(Low-NA)EUV光刻机产能基础上,2027年增加30%产能;公司正在研究2028年再增加30%产能的可行性。