国家知识产权局信息显示,东莞新科技术研究开发有限公司申请一项名为“晶圆的研磨抛光方法”的专利,公开号CN122428362A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本发明的晶圆的研磨抛光方法包括:对晶圆进行等离子体辅助研磨;将所述晶圆置于含抛光液的电解槽中进行电化学抛光;漂洗所述晶圆;以及干燥所述晶圆。该方法有效提高研磨抛光的效率和质量,且方法简单,易于实施,适用性广。
天眼查资料显示,东莞新科技术研究开发有限公司,成立于2004年,位于东莞市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1050万美元。通过天眼查大数据分析,东莞新科技术研究开发有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息731条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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