国家知识产权局信息显示,纳设智能装备(江苏)有限公司取得一项名为“一种匀流装置及原子层沉积设备”的专利,授权公告号CN224531019U,申请日期为2025年7月。
专利摘要显示,本申请公开了一种匀流装置及原子层沉积设备,属于原子层沉积设备技术领域。匀流装置包括反应腔体、进气腔体和排气腔体。反应腔体具有反应腔;进气腔体具有第一进气腔和第二进气腔,进气腔体开设有第一进气口和第二进气口,反应腔体开设有与反应腔连通的第一进气孔组和第二进气孔组,第一进气腔分别与第一进气口和第一进气孔组连通,第二进气腔分别与第二进气口和第二进气孔组连通,第一进气孔组与第二进气孔组沿反应腔体的径向相间隔设置;排气腔体具有排气腔和排气口,反应腔体开设有与反应腔连通的排气孔组,排气腔分别与排气孔组和排气口连通。本申请提供的匀流装置,提升了第一反应气体及第二反应气体的扩散均匀性和一致性。
天眼查资料显示,纳设智能装备(江苏)有限公司,成立于2023年,位于南通市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,纳设智能装备(江苏)有限公司参与招投标项目3次,专利信息22条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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