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关键词：德国thyracont总代理，皮拉尼真空计 ，冷阴极，热阴极，

大连力迪流体控制技术有限公司作为thyracont中国区总代理，诚挚为各位提供德国thyracont全系列产品。

大连力迪提供的thyracont真空计以及真空控制器应用于真空处理的各行各业。

Thyracont开发制造智能真空测量和控制仪器，以对精度的热情，为客户提供真空应用服务，多种制造工艺。我们的真空产品在大型应用领域也能提供服务。应用包括，例如过程工业，涂层，分析和研发以及半导体和太阳能。

主要应用行业

 镀膜设备

 旋转蒸发器

 真空泵QA

 冻结干燥器

 光谱仪

 实验室工作站

 真空隔离

 真空包装

 泄漏测试

Thryacont提供高精度的皮拉尼压阻复合真空计、皮拉尼热阴极、皮拉尼冷阴极复合真空计，精度高，满足PVD镀膜（溅射镀膜）的高精度真空度检测。

  • 皮拉尼/热阴极：VSH 1000到5x10~10mbar
  • 皮拉尼/冷阴极：VSM 1000到5x10~9mbar
  • 压阻/皮拉尼：VSR 1200到1x 10~4mbar
  • 皮拉尼：VSP1000到1x10~mbar
  • 压阻规：VSC43 1400到1mbar Piezo
  • 电容规：VCC200 200到1x 10mbar

真空表优势：

• 具有16bar的超压稳定性，无需超压阀，节约成本

• 响应速度快，精度高

• 防护等级最高可达IP54

• 法兰处耐温度，高达160摄氏度

• 输出信号:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet满足不同的控制系统连接

  • PVD镀膜的核心流程节点
  • PVD镀膜流程主要分为粗抽阶段、高抽阶段、工艺沉积阶段、后处理阶段四个核心节点，每个节点对真空度的测量需求不同：
  • 粗抽阶段：从大气压力抽至10²~10⁻¹Pa，需要快速监测低真空区间的压力变化，判断粗抽是否完成
  • 高抽阶段：从10⁻¹Pa抽至10⁻⁵~10⁻⁸Pa，需要精准监测高真空/超高真空区间的压力，确保本底真空达标
  • 工艺沉积阶段：根据不同工艺（蒸发/溅射/离子镀）维持特定真空度，可能需要通入反应气体，需动态监测真空度波动
  • 后处理阶段：镀膜完成后充气或泄压，需监测真空度从高到低的变化，确保安全操作

PVD溅射镀膜：

  • 标准配置（3台真空计）
  • 1台皮拉尼电阻真空计：负责粗抽阶段的低真空测量---VSR53/VCR53
  • 1台冷、热阴极电离真空计：负责高抽阶段的高真空测量---VSM77/VSH87
  • 1台电容式薄膜真空计：负责工艺沉积阶段的动态真空度监测（量程10⁵~10⁻³Pa）
  • 适用场景：中型工业PVD生产线、对薄膜质量要求较高的装饰镀膜或功能镀膜工艺
  • 优势：电容式薄膜真空计的响应速度快、抗污染能力强，能精准监测工艺沉积阶段因通入反应气体导致的真空度波动，保证薄膜成分均匀
  • 劣势：仍无法同时监测多个腔体的真空度，若设备具有多个沉积腔体，可能存在测量盲区
  • 高端配置（4台及以上真空计）
  • 2台皮拉尼电阻真空计：分别负责粗抽阶段和后处理阶段的低真空测量，避免交叉污染—VSR53/VSR54
  • 1台热阴极电离真空计：负责高抽阶段的高真空测量---VSH87
  • 1台冷阴极电离真空计：负责工艺沉积阶段的超高真空测量---VSM77
  • 额外的电容式薄膜真空计（按需配置）：每个沉积腔体配置1台，独立监测各腔体的真空度
  • 适用场景：大型多腔体PVD设备、半导体晶圆镀膜等对真空度精度要求极高的高端工艺
  • 优势：多台真空计分工明确，独立监测不同阶段和腔体的真空度，确保每个环节的真空度精度都能满足工艺要求，避免因单一真空计故障导致生产停滞
  • 劣势：设备成本和维护成本较高，对操作人员的专业要求也更高