国家知识产权局信息显示,拓荆科技(上海)有限公司取得一项名为“升降销安装孔校准工具及半导体薄膜沉积设备”的专利,授权公告号CN224527171U,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本申请公开了一种升降销安装孔校准工具及半导体薄膜沉积设备,该升降销安装孔校准工具包括:基板、多个腔体定位件、多个定位套以及多个校准件,多个腔体定位件,以基板的中心为基准沿基板的圆周方向间隔设置在基板的边缘上;多个定位套,分布于基板上与升降销安装孔相对应的位置,定位套轴向贯穿基板;多个校准件,沿其轴向具有多段不同直径的校准段,校准段的直径与升降销安装孔的直径相匹配,校准件可活动地穿设于定位套中。本申请通过腔体定位件实现与腔体快速对中定位,利用多段式校准件分步校准升降销安装孔的同心度,有效解决了因分层孔结构不对中导致的安装偏斜问题,能够避免升降销断裂风险并提升晶圆传片稳定性。
天眼查资料显示,拓荆科技(上海)有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本143253.79万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆科技(上海)有限公司参与招投标项目43次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息425条,此外企业还拥有行政许可40个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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