国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于多信道掩模预测的方法和系统”的专利，公开号CN122439125A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，一种用于生成作为信息的多个信道的掩模图案的方法和系统，其中，在信息的不同信道中生成不同类型的特征。向机器学习（ML）模型输入目标图案，并且运行所述机器学习模型以生成具有与对应于所述目标图案的掩模图案相关联的信息的多个信道的输出结果。所述多个信道包括：（a）第一信道，所述第一信道被配置为生成与待印刷在衬底上的主特征相对应的第一掩模信息；以及（b）第二信道，所述第二信道被配置为生成与亚分辨率辅助特征（SRAF）相对应的第二掩模信息。通过使用成本函数可以训练所述机器学习模型，所述成本函数被配置为惩罚对在预测的主特征与预测的亚分辨率辅助特征之间要维持的指定距离的违反。

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作者：情报员