国家知识产权局信息显示,无锡亘芯悦科技有限公司申请一项名为“一种垂向运动装置、控制方法及半导体设备”的专利,公开号CN122438543A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明涉及一种垂向运动装置、控制方法及半导体设备,属于半导体设备技术领域。该垂向运动装置包括宏微动机构,包括依次滑动连接的底板、第一楔形块和第二楔形块,以及与第一楔形块驱动连接的驱动结构;顶升机构,置于第一楔形块和第二楔形块内,包括顶升板、滚轮,以及安装在第一楔形块上的顶升滑块,顶升滑块通过滚轮与顶升板连接;驱动结构通过驱动第一楔形块带动顶升滑块移动,滚轮沿顶升滑块移动,从而带动顶升板做垂向运动;驱动结构驱动第一楔形块移动,以使第二楔形块做垂向宏动运动和微动运动。采用楔形机构可以用更小的输出力带动更大的负载运动,同时极大的减小了Z运动方向的高度,使结构更加紧凑,便于模块化集成。
天眼查资料显示,无锡亘芯悦科技有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2237.4682万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡亘芯悦科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息57条,此外企业还拥有行政许可11个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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