国家知识产权局信息显示,周星工程股份有限公司申请一项名为“形成氮化镓膜的方法”的专利,公开号CN122438973A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,公开一种在基板上形成氮化镓膜的方法,该方法包括:通过将镓前体和含氮气体供应至基板上来形成第一氮化镓膜的步骤;以及通过在将镓前体供应至基板上之后供应含氮气体来形成第二氮化镓膜的步骤。

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作者:情报员