国家知识产权局信息显示,嘉际环控(西安)科技有限公司申请一项名为“一种用于PECVD设备的喷淋头及PECVD设备”的专利,公开号CN122446153A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本申请公开了一种用于PECVD设备的喷淋头及PECVD设备,属于半导体薄膜沉积技术领域。其包括:依次层叠设置的顶层、中间层和底层,中间层的外形尺寸小于顶层及底层;凹凸配合结构,其设置于顶层与中间层之间相对的表面,凹凸配合结构的表面镀有镍基防护膜层,中间层通过凹凸配合结构与顶层配合连接;弹簧屏蔽垫圈,其设置于顶层与底层之间,且分别与顶层及底层接触导通,以使顶层与底层之间实现接地导通。本申请通过顶层与中间层之间的凹凸配合结构以及镍基防护膜层,有效防止工艺粉尘附着从而腐蚀喷淋头基体,提高了密封性能,并通过设置弹簧屏蔽垫圈,建立了顶层与底层之间的射频接地导通路径,抑制了层间缝隙可能产生的异常辉光放电。

天眼查资料显示,嘉际环控(西安)科技有限公司,成立于2021年,位于西安市,是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本1098.222061万人民币。通过天眼查大数据分析,嘉际环控(西安)科技有限公司共对外投资了4家企业,财产线索方面有商标信息4条,专利信息52条,此外企业还拥有行政许可6个。

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作者:情报员