国家知识产权局信息显示,中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“测试结构及测试方法”的专利,公开号CN122458747A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,一种测试结构及测试方法,结构包括:待测晶圆,待测晶圆包括多个芯片区,芯片区具有量测区域;第一金属线,位于量测区域中,第一金属线沿第一方向延伸并沿第二方向相正对且平行排布,第一方向与第二方向相互垂直;第二金属线,位于第一金属线侧部的量测区域中,第二金属线沿第二方向延伸并沿第一方向相正对且平行排布;第一互连通孔结构,位于第一金属线的顶部,且第一互连通孔结构与第一金属线电连接;第二互连通孔结构,位于第二金属线的顶部,且第二互连通孔结构与第二金属线电连接。能够获知每个芯片区中的图案的套刻偏移情况,进而能够全面评估整个晶圆图案的套刻误差表现。
天眼查资料显示,中芯南方集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本650000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯南方集成电路制造有限公司参与招投标项目156次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息130条,此外企业还拥有行政许可458个。
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目120次,财产线索方面有商标信息234条,专利信息15065条,此外企业还拥有行政许可486个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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