国家知识产权局信息显示，上海创熠微材料科技有限公司申请一项名为“氧化物的成膜方法”的专利，公开号CN122446143A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本申请实施例涉及氧化物的成膜方法。一种氧化物的成膜方法包括：将卤化物气体饱和吸附在腔室中的基材表面以在基材表面形成卤化物层，其中卤化物气体通过卤素气体与第一物质反应而产生；将被激发的卤素原子输送至基材表面以将卤化物层中的卤素提取出来以在基材表面形成包含第一物质的活性层；以及对活性层进行氧化以生成氧化物膜。本申请实施例提供的氧化物的成膜方法可有效解决传统技术中遇到的问题。

天眼查资料显示，上海创熠微材料科技有限公司，成立于2024年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海创熠微材料科技有限公司财产线索方面有商标信息6条，专利信息10条，此外企业还拥有行政许可4个。

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作者：情报员