国家知识产权局信息显示,LPE公司申请一项名为“用于存储多个衬底保持器的存储系统”的专利,公开号CN122458735A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本公开涉及一种适于存储多个衬底保持器(130)的存储系统(100),其中存储系统包括沿着旋转轴线延伸的销(308)、沿着基本上平行于旋转轴线的方向定位的至少两个搁架(110),每个搁架适于支撑至少一个可拆卸壳体(120)。搁架围绕旋转轴线枢转地连接到销,并且被配置成彼此独立地围绕所述旋转轴线旋转。每个可拆卸壳体适于支撑至少一个衬底保持器,衬底保持器适于支撑用于沉积半导体膜的衬底(616),所述可拆卸壳体被配置为可释放地联接到搁架并从搁架抽出。本公开还涉及一种包括所述存储系统(100)的衬底处理平台(602)以及一种包括所述衬底处理平台(602)的反应器组件(600)。

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作者:情报员