芯片制造离不开光刻工艺,光刻机是核心设备,光刻胶则是必不可少的关键材料。

两者搭配对应的光刻工艺,G/I 线、KrF、ArF、EUV 分级清晰,不同类型光刻胶不能混用。长久以来,光刻胶领域高度依赖进口,国产化推进虽有进展,但呈现出严重的两极分化。

从行业统计数据来看,2024 年国内光刻胶整体国产化率仅有 23.1%,2025 年小幅提升至 28.3%。

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拆分品类差距一目了然:G/I 线光刻胶国产化率达到 65.4%,KrF 光刻胶为 22.7%,而 ArF 浸没式光刻胶不足 3%,技术最顶尖的 EUV 光刻胶国产化份额依旧是零。

简单来说,我们只能在低端产品实现替代,越往先进制程走,短板就越突出。

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全球光刻胶市场的话语权牢牢掌握在日本企业手中。机构数据显示,日本厂商占据全球八成市场份额,美国占 5%,国内企业合计仅占 3%。东京应化、JSR、信越化学、富士电子材料、住友化学都是行业头部玩家。

更关键的是,全世界仅有日本企业能够量产 EUV 光刻胶,高端材料形成独家垄断。

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近些年市场时常传出日本限制光刻胶供应的消息,潜在断供风险时刻牵动国内晶圆厂的神经。对于 65nm 及以上成熟制程,冲击相对有限;但 40nm 及以下先进工艺高度依赖进口高端光刻胶,一旦供货受阻,生产就会遭遇麻烦。像中芯国际 N+2、N+3 这类先进工艺,受影响的风险尤为突出。

不少人会问,既然风险这么大,国产替代何时才能跟上?按照机构给出的产业预判,突破之路十分漫长。预计到 2027 年,ArF 浸润式光刻胶国产化率有望提升至 5% 至 10%,但 EUV 光刻胶依旧没有实质性产出;到 2030 年,才有望实现 EUV 光刻胶从零到一的突破;想要形成稳定供应、不再惧怕外部断供,时间窗口预估要到 2035 年。

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光刻胶的追赶,不能只盯着难度最高的 EUV。眼下最现实的目标,是先攻克适配 14nm、7nm 工艺所需的高端光刻胶,筑牢先进制程的材料基础。成熟制程光刻胶的突围已经证明,持续投入、长期攻坚能够实现国产替代。

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半导体产业链环环相扣,光刻机广受关注,但光刻胶这类关键材料同样不容轻视。当下的局面提醒我们,国产半导体补短板是一场持久战。只有持续推进材料技术攻关,逐步缩小与海外巨头的差距,国内芯片产业才能真正搭建起安全自主的供应链。