国家知识产权局信息显示,铭扬先进(上海)半导体科技有限公司申请一项名为“晶圆搬运组件和晶圆上下料装置”的专利,公开号CN122476866A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明公开了晶圆搬运组件和晶圆上下料装置,晶圆搬运组件包括:密封座;夹持臂,可活动地设置在密封座上;驱动组件,包括驱动件和传动轴,传动轴穿设安装板和密封座且与夹持臂相连;驱动件包括升降驱动件和旋转驱动件。由此,通过使密封座适于安装在晶圆上下料装置的安装板的上侧,驱动组件适于设置在安装板的下侧,这样可以通过密封座对安装板上的传动轴穿设孔进行密封,实现安装板上方区域和下方区域的隔离,从而不仅可以有效防止液体、颗粒或污染物等在安装板上下侧区域之间进行相互渗透或扩散,防止驱动组件等部件发生侵蚀或卡顿,还可以优化晶圆搬运组件整体的空间布局,简化驱动组件的电气布线设计,便于各区域部件的安装和维护。
天眼查资料显示,铭扬先进(上海)半导体科技有限公司,成立于2025年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,铭扬先进(上海)半导体科技有限公司。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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