国家知识产权局信息显示,广东国科电磁新技术有限公司申请一项名为“一种多层复合镀膜工艺数据处理方法及系统”的专利,公开号CN122466423A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本发明属于镀膜工艺技术领域,具体而言,涉及一种多层复合镀膜工艺数据处理方法及系统。本发明通过在多层复合镀膜工艺处理过程中实时获取溅射靶材的状态数据,并基于这些数据确定靶材当前膜层的靶材状态特征,有效捕捉溅射靶材在长期运行中发生的物理状态变化;在当前膜层沉积完成时进行跨层影响评估,评估涵盖缺陷传递判断、积累效应量化和风险等级划分,能够系统性地识别和量化前一层膜因设备状态变化而产生的微观缺陷对后续膜层生长的影响;基于跨层影响评估结果,对多层复合镀膜工艺进行风险预警,并对工艺参数进行校正,实现了对累积性质量问题的预先调整和干预,有效避免了产品质量下降和报废,显著提升了产品质量的稳定性和生产效率。
天眼查资料显示,广东国科电磁新技术有限公司,成立于2020年,位于广州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析,广东国科电磁新技术有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息51条,专利信息22条,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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