国家知识产权局信息显示，荣芯半导体（宁波）有限公司取得一项名为“一种带有监测CMP偏转以及调整的设备”的专利，授权公告号CN224560873U，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本实用新型涉及CMP技术领域，特别涉及一种带有监测CMP偏转以及调整的设备包括用于装夹晶圆的晶圆夹具，用于带动抛光垫旋转的旋转台，所述晶圆夹具安装有第一激光陀螺仪，所述旋转台内安装有第二激光陀螺仪，所述第一激光陀螺仪与所述晶圆夹具同轴设置，所述第二激光陀螺仪与所述旋转台同轴设置，所述第一激光陀螺仪与所述第二激光陀螺仪水平方向平行设置，所述旋转台下方的安装底座下安装有调整装置，其中所述第一激光陀螺仪与所述第二激光陀螺仪两者通过数据处理系统比较偏转误差后，控制调整装置调整所述旋转台的升降角度。本实用新型可以通过调整旋转台下方设置的调整装置，使得旋转台与晶圆夹具之间的平行度可以实现快速调整。

天眼查资料显示，荣芯半导体（宁波）有限公司，成立于2021年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41452.2292万人民币。通过天眼查大数据分析，荣芯半导体（宁波）有限公司共对外投资了6家企业，财产线索方面有商标信息17条，专利信息125条。

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作者：情报员