国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“晶圆承载装置、工装组件和半导体工艺设备”的专利,授权公告号CN224571774U,申请日期为2025年6月。

专利摘要显示,本公开提供一种晶圆承载装置、工装组件和半导体工艺设备,属于半导体制造技术领域。本公开的晶圆承载装置,包括:底座接口盘和多个支撑组件;底座接口盘包括多个接口,支撑组件与接口对应设置;支撑组件包括顶针、顶针固定件、顶针基座;顶针包括第一节和第二节;第一节的直径大于第二节的直径;顶针基座的底部可拆卸连接在底座接口盘的接口内;顶针基座的顶部具有容置部,顶针的第一节的一部分位于容置部内;顶针固定件套接在顶针基座的中间部,且顶针固定件的内壁抵接在第一节与第二节的连接表面,用于将顶针与顶针基座锁紧。晶圆承载装置通过改进顶针与顶针基座的固定方式,可防止顶针由于外力发生脱离,实现顶针的稳定固定。

天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目1456次,财产线索方面有商标信息75条,专利信息5893条,此外企业还拥有行政许可340个。

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作者:情报员