国家知识产权局信息显示,叁砖科技(南京)有限公司申请一项名为“一种抑制变形的MOCVD加热装置及MOCVD设备”的专利,公开号CN122466554A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明涉及金属有机物化学气相沉积技术领域,提供了一种抑制变形的MOCVD加热装置及MOCVD设备。该装置包括由内、中、外圈加热体构成的加热体组件,其关键在于采用了加热体板式支撑条对加热体进行线接触支撑,支撑条上的凹槽内设有凸起,减少了接触应力和热变形。装置下部设有多层隔热组件,其隔热板通过异型隔热支撑板进行板条式线接触支撑,并优化了隔热板的厚度与间距分布,其中还集成了自支撑反射型隔热环以提升隔热效果。外圈加热体采用变厚变窄的设计以补偿边缘热量损失。本发明通过多重结构优化,显著提高了加热体的平面度、稳定性和热场均匀性,从而有效抑制变形,提升外延成膜质量。
天眼查资料显示,叁砖科技(南京)有限公司,成立于2024年,位于南京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本472.075208万人民币。通过天眼查大数据分析,叁砖科技(南京)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息13条,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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