国家知识产权局信息显示,华海清科股份有限公司申请一项名为“一种用于化学机械抛光的修整装置和修整方法”的专利,公开号CN122463047A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本申请公开了一种用于化学机械抛光的修整装置和修整方法,属于半导体制造技术领域。该修整装置包括固定座、摆臂和修整器,所述修整器设置于摆臂的端部并绕固定座摆动;所述修整器包括修整头和用于抛光垫形貌检测的传感器;所述传感器配置有清洗组件,其包括:升降板,用于安装传感器护罩并带动其沿竖向反复升降;清洗保湿器,固定设置于升降板下方,其底部设有向上喷淋的底部喷嘴,其内侧壁设有上下两层倾斜喷淋孔,其中上层喷淋孔的轴线向上倾斜以清洗传感器护罩的侧壁上部,下层喷淋孔的轴线向下倾斜以清洗传感器护罩的侧壁下部;衬套,罩设于传感器护罩外部,衬套上设有多个通气孔,压缩空气经所述通气孔流出后形成向下倾斜的环形风带。
天眼查资料显示,华海清科股份有限公司,成立于2013年,位于天津市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35365.1991万人民币。通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目297次,财产线索方面有商标信息68条,专利信息832条,此外企业还拥有行政许可36个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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