国家知识产权局信息显示,湖南普照信息材料有限公司申请一项名为“一种光掩模基板镀膜前的基板温度控制方法”的专利,公开号CN122469963A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明涉及基板温度控制技术领域,具体涉及一种光掩模基板镀膜前的基板温度控制方法,通过实时采集得到的镀膜设备的发热温度,以及基板的表面温度和环境温度,结合基板的热物性参数在三维动态热网络模型上进行热场计算,预测基板在镀膜设备发热影响下的目标未来温度场分布;依据目标未来温度场分布和目标基板温度,计算基板上每一基板子区域所需的热补偿信号;根据热补偿信号,控制集成于基板上的热补偿阵列对基板进行分区热补偿处理,并获取分区热补偿处理的控制数据;基于当前采集得到的实时发热温度、实时表面温度、实时环境温度和控制数据,对三维动态热网络模型和热补偿信号的映射规则进行更新,解决了镀膜设备发热对基板造成的热干扰问题。
天眼查资料显示,湖南普照信息材料有限公司,成立于2003年,位于长沙市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本99278.6058万人民币。通过天眼查大数据分析,湖南普照信息材料有限公司参与招投标项目663次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息86条,此外企业还拥有行政许可62个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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