上亿一台的光刻机垄断赛道,国内却靠普通激光实现同等纳米精度,这事怎么说呢?
长久以来行业内都形成固定思维,想要加工 7 纳米及以下精密芯片线路,必须依赖造价高昂、制造难度拉满的 EUV 极紫外光刻机,这类设备 2026 年全年全球出货量仅 55 至 60 台,产能十分有限。
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近期国内科研团队发布的超分辨光刻成果,直接推翻这条固有行业逻辑。团队借鉴诺奖级超分辨显微原理,搭配低成本 405 纳米激光搭建双光束加工系统,通过一束光刻写、一束环形光擦除边缘多余纹路,不受阿贝衍射极限束缚,稳定实现亚 10 纳米加工精度。
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有网友客观分析,新技术目前存在逐点扫描加工速度较慢的短板,暂时无法大规模量产通用逻辑芯片,但在细分赛道优势显著:掩膜版制作能降低九成研发试错成本,三维光存储单盘容量突破 100TB,完美适配光子芯片、微纳传感器的精密加工需求,形成差异化技术优势。
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