国家知识产权局信息显示，清软微视（杭州）科技有限公司申请一项名为“一种晶圆表面残留物的检测方法”的专利，公开号CN122492687A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本申请涉及一种晶圆表面残留物的检测方法，包括以下步骤：在晶圆表面划分多个检测区域；对每个检测区域分别采集蓝光通道灰度图像与近红外通道灰度图像；对蓝光通道灰度图像进行阈值划分，得到残留物区、过渡带以及背景区；获取过渡带内的像素的蓝光通道灰度值与近红外通道灰度值的比值R，根据比值R获取过渡带内的残留物隶属度M；以残留物区为基准对过渡带的像素进行在相邻像素灰度梯度一致性限制下的灰度形态学重建；将重建后的过渡带的像素与残留物区合并，形成残留物连通域；根据残留物连通域输出残留物的参数。本发明能够判断晶圆表面的残留物的类型并提高缺陷检测精度。

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作者：情报员