国家知识产权局信息显示，盛吉盛半导体科技（北京）有限公司申请一项名为“一种用于远程等离子体设备法兰对中的安装装置及方法”的专利，公开号CN122486024A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于远程等离子体设备法兰对中的安装装置及方法，其属于半导体设备技术领域，所述安装装置包括调平板和安装板，所述调平板下方设有升降组件，所述调平板的上方设有安装板，所述安装板与所述调平板之间通过导轨滑动连接，所述安装板上方用于支撑远程等离子体设备，所述安装板上方环绕所述远程等离子体设备均匀设有若干侧推组件，所述等离子体设备的侧壁设有法兰连接组件。本发明通过调平板、安装板、升降组件、导轨、侧推组件与法兰连接组件的组合设计，使远程等离子体设备可在水平、横向和轴向三个维度上独立、精确地调整位置，实现了法兰对中的高精度、高效安全对接，解决了传统吊装方式易导致设备碰撞、石英件损坏的问题。

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作者：情报员