国家知识产权局信息显示，无锡灿晶微电子科技有限公司取得一项名为“一种掩模版自动清洗组件”的专利，授权公告号CN224574208U，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本实用新型涉及清洗组件领域，具体涉及一种掩模版自动清洗组件，包括清洗池，用于清洗掩模版；支架，固定在清洗池上方。本实用新型一种掩模版自动清洗组件，通过电动推杆、支撑架、伺服电机、往复螺纹杆、喷头、第一同步轮、同步皮带、第二同步轮、转杆和毛刷的设置，通过将掩模版主体放在两组夹板中定位，接着打开连接板上方的电动推杆开关，推动整个支撑架与内部的喷头和毛刷升降，在升降的过程中打开伺服电机开关，带动往复螺纹杆转动，从而带动喷头左右移动冲洗，而同时往复螺纹杆转动带动第一同步轮与外部的同步皮带传动，使得同步皮带带动第二同步轮与转杆和毛刷转动，从而对掩模版表面进行清理，而毛刷材质为软毛刷。

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作者：情报员