国家知识产权局信息显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司取得一项名为“一种测试装置及半导体生产设备”的专利,授权公告号CN224583714U,申请日期为2025年7月。

专利摘要显示,本实用新型提供一种测试装置及半导体生产设备,测试装置包括指示件和开关组件,指示件用于提示气动阀开启或关闭;开关组件与电源和指示件电连接,开关组件的一侧与气动阀的气嘴抵接或与气嘴间隙设置;其中,启动气动阀,气嘴膨胀以按压开关组件,开关组件连通电源和指示件。本申请通过在气动阀上设置测试装置,将开关组件与气动阀的气嘴抵接或与气嘴间隙设置,通过气嘴的膨胀以连通开关组件,进而连通电源和指示件,通过指示件的提示以获得测试结果,测试装置的结构简单,能够自动化测试气动阀的开启和关闭,从而提高测试精度和测试的便捷度,并且无需拔掉气动阀的气管,从而避免损坏气管或气动阀。

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作者:情报员