国家知识产权局信息显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司;屹唐半导体科技（北京）有限责任公司申请一项名为“气体浓度测量装置、方法及快速热处理设备”的专利，公开号CN122487294A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本公开实施例提供一种气体浓度测量装置、方法及快速热处理设备，涉及半导体设备技术领域。气体浓度测量装置，包括：进气支路，用于与抽排管路连通；过滤器，位于进气支路的下游，用于对来自进气支路的抽排气体进行过滤；分析仪，位于过滤器的下游，用于对来自过滤器的抽排气体进行分析，以得到目标气体的浓度；目标气体包括氧气；出气支路，位于分析仪的下游，与抽排管路连通；出气支路相较于进气支路更为靠近真空泵。

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作者：情报员