国家知识产权局信息显示,包头晶澳太阳能科技有限公司申请一项名为“一种单晶炉用管道及单晶炉真空系统”的专利,公开号CN122484933A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体材料制备设备技术领域,提供一种单晶炉用管道及单晶炉真空系统,其中,单晶炉用管道包括:管道本体和用于保温的护套,管道本体包括第一段和第二段,第一段的一端用于与单晶炉连接,另一端与第二段连接;护套为中空结构,且护套的外侧壁贴合在管道本体的第一段的内侧壁上;其中,管道本体的至少第二段的内壁上设置有用于减少氧化物堆积的功能涂层。通过设有护套,可减小过渡段温度梯度、优化流场解决涡流沉积难题,且可拆卸易维护、保护管道本体;配合第二段内壁的功能涂层降低氧化物附着性、减少结瘤来源,抑制管道结瘤,避免炉压升高、成晶质量下降等问题,延长单晶炉运行周期,提升生产效率并降低综合成本。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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