国家知识产权局信息显示，北京博视像元科技有限公司申请一项名为“一种基于腔内光电串行化与碳污染防护的EUV真空相机系统”的专利，公开号CN122488435A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本发明公开一种基于腔内光电串行化与碳污染防护的EUV真空相机系统，涉及极端紫外光电探测及真空测量技术领域，包括：全金属密封真空腔体、无窗口差分抽气光学接口模块、腔内传感器光电串行化模块、光纤真空穿壁传输模块、全无机辐射‑热电协同制冷模块以及大气侧信号处理与控制模块。本发明打破了真空穿壁定势，出气率实现指数级下降；消除了碳源，保障长期定量监测；同时兼顾高动态观测与带外精准分析。

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作者：情报员