国家知识产权局信息显示,大理华晟新能源科技有限公司取得一项名为“一种便于保持透明度的观察窗”的专利,授权公告号CN224578335U,申请日期为2025年7月。

专利摘要显示,本实用新型提供一种便于保持透明度观察窗,涉及腔室观察窗领域,包括腔壁、安装于腔壁上的观察窗,所述观察窗的内侧设置有观察圆筒,所述观察圆筒与腔壁固定连接,所述观察圆筒内可拆卸的设置有内玻璃和外玻璃,所述内玻璃设置在外玻璃的内侧,所述观察圆筒上设置有用于将外玻璃从观察圆筒内取出的拆卸机构。该便于保持透明度的观察窗,通过内玻璃、外玻璃和拆卸机构的设置,能够在磁控溅射沉积系统更换靶材的周期内利用内外两片玻璃保护玻璃窗透明度不会降低,外玻璃透明度降低后被移开,利用内玻璃继续保护观察窗,而且开腔更换靶材的过程中能够快速把新的保护玻璃补充进圆筒中,不影响产能。

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作者:情报员