国家知识产权局信息显示,广东码清激光智能装备有限公司申请一项名为“应变片芯片检测系统以及检测方法”的专利,公开号CN122487751A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本发明属于应变片芯片检测技术领域,具体涉及应变片芯片检测系统以及检测方法,检测系统,旋转模组,用于承载应变片晶圆;吸附模组,安装于转盘,用于固定应变片晶圆;视觉识别模组,用于识别被吸附固定的应变片晶圆上各个应变片芯片的位置;电阻测量模组,包括可移动的测阻探针组件;控制单元,与驱动电机、视觉识别模组及电阻测量模组信号连接;通过吸附模组固定应变片晶圆,视觉识别模组精确定位各芯片位置,控制单元协调电阻测量模组进行高效测量,解决了现有技术中晶圆位移、脱落及检测效率低的问题,有效防止应变片晶圆在检测过程中的位移或脱落,提高视觉识别和电阻测量的精度与稳定性,从而提升检测效率和可靠性的优点。

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作者:情报员