国家知识产权局信息显示,唯实先端智能科技(苏州)有限公司申请一项名为“一种基于高精度与AGV对接的半导体晶棒取放装置及方法”的专利,公开号CN122482166A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本申请实施例提供一种基于高精度与AGV对接的半导体晶棒取放装置及方法,涉及半导体制造自动化设备技术领域,其包括机架,机架上设有三轴移动机构,三轴移动机构上设有夹爪组件,机架内设有AGV对接定位机构和堆料架,AGV对接定位机构包括导向台,导向台上设有两块侧板,两块侧板之间形成通道,侧板两端宽度小于中间部分的宽度且过渡圆滑形成喇叭口导向结构,两个侧板上都设有限位组件,夹爪组件上还设有相机,AGV上设有固定架,AGV顶部还设有定位标记。本申请具有取放效率高、结构简单的效果。

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作者:情报员