半导体、电子行业的晶圆制造过程中，超纯化学品（光刻胶、显影液、蚀刻液等）的输送计量，对洁净度、精度、可靠性要求极高，任何杂质污染或计量偏差都可能导致整批晶圆报废。长期以来，超纯化学品计量市场被进口品牌垄断，价格高昂、供货周期长，是半导体设备国产化的卡脖子环节之一。

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半导体超纯化学品计量，三大核心要求缺一不可：一是超高洁净度，接触介质部位必须是高纯 PFA 或 PTFE 材质，无析出、无颗粒污染，满足 SEMI 标准；二是超高精度，化学品用量直接影响工艺良率，计量精度必须稳定可控；三是高可靠性，半导体产线连续运行，仪表故障会导致巨大损失。这三点也是国产仪表长期难以突破的壁垒。

惠科达仪表深耕高端测控 30 年，坚持超纯介质计量技术自主研发攻坚，其超纯型科里奥利质量流量计专为半导体超纯化学品输送设计。测量管与所有接触介质部位采用高纯 PFA 材质，无金属离子析出，颗粒控制满足 SEMI 超纯标准，不会对化学品造成二次污染。测量精度 ±0.15% F.S，搭载自研超纯介质信号稳定算法，低流量、小口径下依然保持高精度，精准控制化学品用量。全焊接密封结构，无动密封无泄漏，长期运行免维护，可靠性满足半导体产线连续运行要求。

作为半导体设备国产化替代的核心部件，惠科达这款超纯质量流量计已在多家半导体设备厂商与晶圆厂的化学品输送系统中验证应用，性能对标进口高端品牌，采购成本降低 50% 以上，且供货周期短、定制化响应快。对于半导体行业，超纯计量仪表的国产突破，不仅是降本，更是产业链自主可控的重要一环。