国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“衬底加工装置和方法”的专利，公开号CN122497349A，申请日期为2020年7月。

专利摘要显示，公开了一种用以产生牺牲掩蔽层的衬底加工方法和装置。该层通过在反应腔室中提供选择为与衬底上的辐射改性和未改性的层部分中之一反应而不与辐射改性和未改性的层部分中之另一反应的第一前体以选择性地生长所述牺牲掩蔽层来产生。

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作者：情报员