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关 键 词：电子级乙酸乙酯

应用领域：高纯溶剂/半导体/光刻胶

参考标准：GB/T 6324.8-2014

ALT-1-C在线测定电子级乙酸乙酯水分

摘要

电子级乙酸乙酯是超高纯溶剂，具有低金属、低颗粒特性。主要用于半导体晶圆清洗、光刻胶稀释及平板显示制造。作为关键湿电子化学品，其纯度直接影响芯片良率，是微电子精密制造不可或缺的基础材料。本例通过ALT-1-C在线测试电子级乙酸乙酯样品的水分。

仪器配置

●ALT-1-C

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●全封闭安全滴定池组件

●双铂针电极

●放液电解电极

试剂配置

●滴定剂：卡尔费休库仑法试剂（Merck）

测定方法

●测试原理：卡尔费休反应/极化电流

●准备工作：在试剂瓶中填充足量的卡尔费休库仑法试剂，检查废液桶并清空废液

●分析流程：开启ALT-1-C水分测定仪，先执行更换试剂步骤，再启动分析，等待仪器电解平衡后，即按照乙酸乙酯水分分析程序执行在线水分分析流程

仪器参数

● 终点电位：450mV

● 平衡点位：0.3ug/s

● 电解档位：自动

● 搅拌速度：5档

● 漂移扣除：开启

测试数据

● 环境温度：25℃ ● 环境湿度：湿度30%

● 测试频率：1次/小时 ● 单次测试总时间：约7min（清洗上样约5min，分析时间2min )

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