EBSD制样
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EBSD制样

EBSD测试对样品的要求是比较高的,因为需要的得到清晰的衍射花纹用于分析,如果样品表面有较多的残余应力或者不配平整,就会影响花纹产生和收集,因此在上机之前,对EBSD的样品是需要经过处理之后才能做的,本次我们来说说需要制备到什么情况才能上机,并且制备样品的好坏在最后测试的时候会产生什么样的影响。

01

样品需要光滑无瑕疵

对于EBSD来说,样品需要足够的光滑,这个光滑不是一般看着平整就可以而是需要达到反光,甚至镜面的程度。一般的光滑是完全不行的,例如下图所示:这个是用砂纸打磨得反光之后的材料表面,在上到显微镜下后可以看到很多的划痕,这个其实就是抛光颗粒留下的。

有这种划痕的样品在测试时候会导致很多无法得到信息。

机械砂纸打磨抛光后的显微镜图像
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机械砂纸打磨抛光后的显微镜图像

样品制备时候的好坏可以说完全决定了最后测试的结果:如下图所示:左侧抛光不好的样品在测试时候菊池线完全不清晰,而右侧样品跑航好的可以看到很清晰的菊池线的信息。而菊池线的好坏就决定了最后结果的好坏。

(抛光差)
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(抛光差)
(抛光好)
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(抛光好)

可以说好的样品做好抛光的前处理,基本上实验就成功了一大半。判断抛光效果的好与坏我们可以直接在SEM上通不过形貌观察看到左侧在SEM下能看到坑坑洼洼的就是不行的,右面光洁平整的就是好的。

(效果好)
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(效果好)
(效果差)
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(效果差)

一般针对不用的样品,有很多方法可以用,每种方法也都有各自的特点需要根据情况选择。

02

常见的抛光手段

1、机械抛光(振动抛光):适合金属材料,薄片,薄膜等材料,利用振动能打磨样品表面,能有效去除残余应力的影响。

2、电解抛光:将金属样品放置于阳极,结合抛光液,在表面进行均一的腐蚀后形成光洁的镜面。

3、化学抛光:常结合一般的机械抛光,用特制抛光液,结合机械方式,在表面先腐蚀后打磨。

4、氩离子抛光:用氩离子在材料表面打去一些薄薄的一层,抛光精度最高。

5、FIB:适合做截面或者对特定位置的样品挖取一块用于研究的时候。

以上的一些常见的抛光手段,根据样品的不用一般可以采用不同的办法,只要能达到足够的光洁度。至于每种处理方式具体如何实施,适用什么样品,这些在之后再详细介绍一下