国家知识产权局信息显示，威弗洛得有限公司申请一项名为“通过热自分裂工艺的外延氮化铝体声波滤波器器件用晶圆、其制造方法及体声波滤波器器件”的专利，公开号CN122514901A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本发明的实施方式提供一种通过热自分裂工艺的外延氮化铝体声波滤波器器件用晶圆，其包括：支撑衬底；位于所述支撑衬底上侧的晶圆键合层；配置于所述晶圆键合层上侧的声学反射镜；形成于所述声学反射镜上侧的下电极；配置于所述下电极上侧并以外延生长方法生长为单晶结构的压电薄膜；及配置于所述压电薄膜上侧的上电极。

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作者：情报员