硅电子申请用于提拉半导体材料的单晶的设备和方法专利,具有用于旋转提拉轴的装置且具有用于旋转坩埚轴的装置
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国家知识产权局信息显示,硅电子股份公司申请一项名为“用于提拉半导体材料的单晶的设备和方法”的专利,公开号CN122503937A,申请日期为2020年9月。
专利摘要显示,本发明提供用于从包含在坩埚(8)中的熔体(7)提拉半导体材料的单晶(1)的设备,该设备具有用于旋转提拉轴(14)的装置(20)且具有用于旋转坩埚轴(13)的装置(21),其特征在于,在驱动器(22)和提拉轴(14)之间的成双蜗轮蜗杆传动装置以及在另一驱动器(31)和坩埚轴(13)之间的另一成双蜗轮蜗杆传动装置。本发明还提供使用该设备提拉半导体材料的单晶的方法。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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