国家知识产权局信息显示,上海聚克流体控制有限公司申请一项名为“一种半导体阀门氦漏率检测方法及系统”的专利,公开号CN122505494A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本发明提供一种半导体阀门氦漏率检测方法及系统,涉及半导体制造设备检测技术领域,所述方法包括:向被测阀门内部充入设定压力的氦气,采集外部法兰处泄漏的氦气信号,生成泄漏率数据;根据泄漏率数据,启动真空泵对内部腔室抽真空,沿时间轴逐点采集外部检漏端本底氦泄漏信号,生成信号衰减时序序列;根据信号衰减时序序列,计算相邻采样时间点间的信号跌落量,生成下降速率序列。本发明通过偏转夹角识别阶段拐点和吸附态残留估值动态比对,使吹扫时机与实际残留水平匹配,代替了固定等待时长和固定循环次数的经验排氦方式,能够在多工况条件下快速清除残留氦气,缩短测试间隔,提高多工况泄漏率数据的可比性。

天眼查资料显示,上海聚克流体控制有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1081.478万人民币。通过天眼查大数据分析,上海聚克流体控制有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息97条,此外企业还拥有行政许可5个。

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作者:情报员