国家知识产权局信息显示,辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司申请一项名为“一种半导体工艺腔室用气体弥散喷嘴的制备方法”的专利,公开号CN122502091A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体圆晶制备领域,具体是指一种半导体工艺腔室用气体弥散喷嘴的制备方法,包括;第一步,筛选:选用二氧化硅纯度≥99.999%的半导体级高纯石英砂,通过振动筛筛分得到400~500目和500~600目两个粒级的石英砂,分别作为基材。本发明通过制备弥散的陶瓷头,该陶瓷头内部为中空状,顶端为帽状结构,由内部具有孔隙结构的石英烧结体构成,经梯度烧结强化内部结构实现高强度。该中空结构有利于最大面积的弥散气体,该喷嘴焊接在石英管上,该石英管可根据不同设备要求弯曲成各种形状。
天眼查资料显示,辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司,成立于2017年,位于抚顺市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本8613.4416万人民币。通过天眼查大数据分析,辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息68条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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