国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“半导体器件的制备方法”的专利,公开号CN122514031A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本申请提供了一种半导体器件的制备方法,属于半导体技术领域,所述制备方法包括:提供衬底,衬底具有第一区和第二区,第一区上设有第一栅极结构、第一光阻挡层及侧墙层,第一光阻挡层覆盖第一栅极结构的顶壁,侧墙层覆盖第一栅极结构的侧壁;形成第二光阻挡层和硬掩模层,第二光阻挡层及硬掩模层依次顺形地覆盖第二区的表面,并暴露第一栅极结构及第一区的衬底表面;沿纵向对衬底照射紫外光,对第一栅极结构两侧的衬底进行湿法氧化性刻蚀工艺,以形成初始沟槽;沿初始沟槽继续湿法刻蚀衬底,使初始沟槽变为西格玛沟槽。本申请可在衬底中形成沟槽时减轻或避免损伤栅极结构的顶部。
天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了13家企业,参与招投标项目648次,财产线索方面有商标信息54条,专利信息1773条,此外企业还拥有行政许可35个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴