国家知识产权局信息显示,京隆科技(苏州)有限公司申请一项名为“一种晶圆的干法声波清洁装置及方法”的专利,公开号CN122500015A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明提供了一种晶圆的干法声波清洁装置及方法,包括:所述装置在无液体介质的环境下运行,包括:声波发生模块,用于以非接触方式向晶圆表面施加声波,以使晶圆表面的颗粒物脱离;真空收集模块,用于产生负压气流以收集脱离后的颗粒物;控制模块,分别与所述声波发生模块1和所述真空收集模块通信连接,用于控制所述声波发生模块施加声波的时刻和参数,并控制所述真空收集模块进行颗粒物的收集作业。本发明通过非接触声波剥离与真空即时收集相结合的方式,实现了对晶圆表面颗粒物的高效、无损伤干法清洁,且易于自动化集成,提高了生产效率和产品良率。
天眼查资料显示,京隆科技(苏州)有限公司,成立于2002年,位于苏州市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本54794.0604万人民币。通过天眼查大数据分析,京隆科技(苏州)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目97次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息161条,此外企业还拥有行政许可71个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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