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上部分我们介绍了EBSD能产生的衍射部分是利用的被背散射电子通过晶格时候产生的衍射得到晶格信息的,那么我们是怎么收集这些信息的呢?今天来介绍一下。
01菊池线
首先,我们在EBSD上收集的背散射衍射的直接现象是如图1所示的样子。是一种密密麻麻的条纹,这个就是我们收集到的衍射花样。在里面我们是不是可以看到一条一条的条带,这个条带就是我们背散射电子中非弹性背散射电子在经过晶格时候产生的衍射花样,我们称为菊池线。
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实际上菊池线是2个圆锥面只是我们在收集的时候得到的是2条直线(如图2所示)而菊池线是经过晶格衍射产生的花样,因此这些花样中就包含了待测样品中晶格的相关信息,而EBSD所得到的晶格信息就是通过分析这些密密麻麻的菊池线得到的。至于如何由菊池线得到的各种晶格信息,这个比较复杂本次简单介绍中就展开了。
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02 EBSD的测试与结果
其实如上图1的衍射花样实际上代表是一个微区点的衍射结果,所以EBSD是通过测试每个小区域的点的衍射结果,得到该点的衍射花样,晶格信息,然后到下一个点,就如同我们图片的像素一样。一张清晰的图片放大之后其实就是个个方格色块;就像图3一样,小图是一样把轮廓清晰的宝剑。放大之后实际上也是由一个基本小方块组成。
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而EBSD也是这样的,一张完整的EBSD结果如图4所示。它也是由更多个基本点构成的,我们对每一个点收集衍射花样菊池线的信息,然后分析得到晶格信息最终把这些点汇总之后才能得到下面这种图,因此实际一张EBSD的测试结果,是几万甚至更多的测试点绘制出来的,因此看似简单的一张色块图可能是仪器一个个点扫描了几个小时的结果。
以上就是EBSD如何得到晶格信息以及输出结果的介绍,下期再见
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