上期我们讲了EBSD的结果想要做好,制样的很重要,制样结果的好坏很大程度上决定了测试结果的好坏。那么今天我们来介绍2种制样方法以及它们各自适用的一些制样情况。

01振动抛光

01振动抛光

振动抛光实际上属于机械抛光的一种,上期我们讲过,直接的机械打磨因为有外部压力存在,会在样品表面留下划痕,导致最后测试的效果不好。因此传统的机械抛光一般是在样品比较粗糙的前处理上。

而振动抛光的原理,如下图所示;一般将研磨剂和被加工对象混合之后,通过电机带动使得整个容器不断的进行高频振动,通过调整振动的方向,流向使得研磨机不断的与器件发生摩擦,因为这种振动是细小且短暂的,因此对表面的磨损是很小的,通过长时间的高频振动,最终达到抛光的目的可以很好的完成抛光的工作。

近年来对于振动抛光的方式又有诸多改进,如将薄膜样品镶嵌之后固定住,然后再进行振动抛光处理可以对指定面进行抛光。用超声波取代电机,达到更加高效细致的抛光处理

适合样品:薄膜薄片类的,小器件样品,不适合化学腐蚀的物件等。

缺点:整个抛光时间很长一般处理一次样品需要几十分钟甚至数个小时。

振动抛光原理示意图

02电解抛光

02电解抛光

电解抛光实际上属于化学腐蚀的一种,利用电解池的原理,把需要抛光样件放在阳极处,放在电解质液中,然后利用电解的原理让被抛光的物质表面腐蚀掉一层。

当存在毛刺的时候毛刺接触电解的更多反应也越剧烈,随着反应的进行整个表面会逐渐趋于平整,这个时间很快的一般几秒到几十秒就能完成一次抛光处理。

因此电解抛光本身也运用于工业上对金属零件的抛光处理。

适合样品:金属样品;比较大的器件,经得起表面腐蚀样品。

缺点:不适合样品量少的样品,并且需要合适的抛光电解液配合才能达到较好的效果。

电解抛光示意图
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电解抛光示意图

以上是我们今天介绍的2种常见的样品抛光方法。后续还会继续介绍其他的相关处理办法