来源：新浪基金∞工作室

数据显示，8月6日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回2.86亿元，位居当日股票ETF净流出排名19/1286。最新规模48.27亿元，前一日规模49.85亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为5.73%。

近5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回4.57亿元，位居股票ETF净流出排名第42/1286。近10日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购3.79亿元，位居股票ETF净流入排名第53/1286。近20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购25.58亿元，位居股票ETF净流入排名第31/1286。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)已连续3日资金遭净赎回，区间净流出额9.29亿元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止8月6日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为20.3亿份，最新规模为48.27亿元。回顾2025年12月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加731.31%，规模增加1525.90%。

流动性方面，截止8月6日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日累计成交金额309.41亿元，日均成交金额15.47亿元；今年以来，143个交易日，累计成交金额559.54亿元，日均成交金额3.91亿元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益137.75%。

最新定期报告显示，鹏华基金（589020）重仓股包括华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、盛美上海、安集科技、富创精密，持仓占比如下：

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688120华海清科10.54%86.78万2.80亿688012中微公司9.95%56.34万2.64亿688361中科飞测8.69%53.62万2.31亿688072拓荆科技6.54%20.86万1.74亿688200华峰测控5.92%29.92万1.57亿688037芯源微5.74%34.69万1.52亿688126沪硅产业5.44%361.45万1.44亿688082盛美上海5.13%31.49万1.36亿688019安集科技5.05%39.43万1.34亿688409富创精密4.63%40.10万1.23亿

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码名称基金规模(亿元)
20260806近1月日均成交额
(亿元)净申购(亿元)
20260806近1周净申购
(亿元)近1月净申购
(亿元)基金公司588170华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF377.8085.13-18.57-28.81204.47华夏基金588710华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF98.5022.40-2.08-7.1459.62华泰柏瑞基金589020鹏华科创板半导体材料设备主题ETF48.2714.71-2.86-4.5729.84鹏华基金