国家知识产权局信息显示,鞍山方腾光源技术有限公司取得一项名为“一种用于晶圆检测的载台装置”的专利,授权公告号CN224611255U,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本申请涉及用于晶圆检测的载台技术领域,特别是涉及一种用于晶圆检测的载台装置,包括载台底座,载台底座上固定安装有L型定位框架,L型定位框架的顶部固定安装有晶圆光学检测设备,L型定位框架的侧方固定安装有翻转驱动电机,翻转驱动电机的输出端转动穿过L型定位框架并安装有外定位环,外定位环的侧壁上安装有三个呈环形阵列分布的晶圆夹持组件,通过三个呈环形阵列分布的晶圆夹持组件对晶圆本体进行夹持并承托,在晶圆本体需要翻面检测时,将两个限位板伸出并旋转外定位环即可,实现对晶圆本体的自动翻面,翻面完成后即可收回上方的限位板,继续进行检测,提高了设备的使用效率。

天眼查资料显示,鞍山方腾光源技术有限公司,成立于2016年,位于鞍山市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,鞍山方腾光源技术有限公司专利信息8条,此外企业还拥有行政许可5个。

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作者:情报员