国家知识产权局信息显示,苏州天准科技股份有限公司取得一项名为“一种微驱调焦的对准装置”的专利,授权公告号CN224624919U,申请日期为2025年8月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种微驱调焦的对准装置,属于半导体光学量检测的对准技术,对准装置包括设置于对准壳体的对准照明光组、耦合光组和对准成像光组,对准照明光组的出射光线透射进入耦合光组以提供照明光,耦合光组的光线反射进入对准成像光组以提供目标物的图像信息;耦合光组采用变距微驱动器以辅助调焦。本申请的所有光路处于同一平面,布局简单易实施,耦合光组采用对变距微驱动器驱动采集物镜以辅助调焦,提高了预对准精度和速度;便于在半导体套刻对准、CD、缺陷等纳米级量检测场景推广应用。

天眼查资料显示,苏州天准科技股份有限公司,成立于2009年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19432.05万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州天准科技股份有限公司共对外投资了14家企业,参与招投标项目84次,财产线索方面有商标信息77条,专利信息872条,此外企业还拥有行政许可31个。

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作者:情报员