国家知识产权局信息显示,国电投核力创芯(无锡)科技有限公司取得一项名为“一种用于晶圆表面缺陷检测的装置”的专利,授权公告号CN224624421U,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本实用新型公开一种用于晶圆表面缺陷检测的装置,属于半导体及工业视觉检测领域,包括工作台,所述工作台放置于桌面顶端,工作台的顶端设置有晶圆工装,所述晶圆工装表面设置有万向支架,万向支架的表面设置有平面无影光源,万向支架的上方设置有圆顶光源,圆顶光源的上方设置有面阵相机,面阵相机固定于万向支架的顶端;其中,面阵相机、圆顶光源、平面无影光源与工作台通过万向支架连接。本实用新型通过引入侧面倾斜角光源+PWM调光技术,在兼容现有沾污检测的同时,实现划痕的高灵敏度捕获;此外还对晶圆工装进行了改进,原有的工装只能放单一尺寸的晶圆,改进后工装剖面呈阶梯状,可兼容多个尺寸的晶圆,节省了材料成本,优化工作流程。

天眼查资料显示,国电投核力创芯(无锡)科技有限公司,成立于2021年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本7022.63万人民币。通过天眼查大数据分析,国电投核力创芯(无锡)科技有限公司参与招投标项目358次,专利信息75条,此外企业还拥有行政许可33个。

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作者:情报员